ISO/TC 202
Microbeam analysis
Analyse par microfaisceaux
Standardization in the field of microbeam analysis (measurement, parameters, methods and reference materials) which uses electrons as an incident beam and electrons or photons as the detection signal. The use of ions for sample preparation and analysis in an electron microscope is also included, with the exception of techniques which use mass-filtered ions as the detected species.</p>
<p>Excluded: Surface analysis techniques which come under the remit of ISO/TC 201.</p> <p><i>Note: </i> </p><p>The purpose is to analyze the compositional and structural characteristics of solid materials. The volume of analysis will generally involve a depth up to 10 micrometers and a surface area less than 100 square micrometers.  </p>
Normalisation dans le domaine de l'analyse par microfaisceaux (mesurage, paramètres, méthodes et matériaux de référence) qui utilise des électrons comme rayon incident et des ions ou des photons comme signal de détection. <p><i>Note: </i> </p><p>L'objet consiste à analyser les caractéristiques de composition et de structure des matériaux solides. Le volume analysé fera généralement intervenir une profondeur jusqu'à 10 micromètres et une aire inférieure à 100 micromètres carrés.  </p>
ISO/TC 201
ISO/TC 229