title: Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 703: Calibration and measurement standards for non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
title: Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: surfacique — Partie 703: Étalonnage et étalons de mesure pour les instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)